实现12英寸用静电夹具的6件同时加工

实现高精度均匀加工，有助于提升静电夹具的品质。

通过精准的移动控制以及独特的系统来精确调节研磨材料的喷射量，从而实现高精度的压花加工（针式加工）。

同时加工多张，提升生产效率

这是一种能够同时加工多张材料的批量生产设备。
处理尺寸以及可同时加工的纸张数量，可根据需求通过专门设计来确定。

处理方式

机器人

批量处理

适合性能

可批量生产

均一品质

省力化

案例浮雕加工（针插加工）案例

ATV系列自动机通过高精度的图案切割，有助于提升薄膜的成型质量稳定性。

可提供凹凸部分的直径（即销的直径）至少为50㎛、凹凸高度为11㎛的加工技术。
能够实现±0.5㎛的加工精度。（具体精度会因材料及其他条件而有所差异）

在用于高效且均匀地将硅晶圆的热量传递给制冷剂、从而实现温度控制的静电夹具中，为了保持晶圆的温度稳定，就必须对夹具中的针状物的高度进行精确控制。
此外，针状物的高度还会影响对精密晶圆的装卸操作。

氧化铝板压花加工（针式加工）案例

不二制作所所使用的测量仪器可进行相应检测，不过测量结果会因各种条件而有所不同。

装置的特性

高精度量产型静电夹具压花加工自动机

这是一种能够在保持质量的同时进行多任务同步加工的装置，从而提升生产效率。

量产=生产力提升

① 减少产品尺寸差异，实现批量生产
使用传统设备进行批量生产时，需要多台设备，而由于每台设备的加工能力和精度不同，会导致产品尺寸出现差异。
本公司通过采用批量处理方式，在相同条件下加工多个产品，从而减少了产品尺寸差异，实现了在保证质量的同时进行批量生产的目标。

② 可通过触摸屏精确调整加工参数。
手动操作很难实现这样的精确控制，而通过触摸屏的操作，就可以轻松地调节激光头的移动轨迹以及喷射量。
同时还可以查看机器的运行状态。
此外，还可以保存加工参数，这样就可以多次以相同的条件进行加工了。

③ 通过多个吸附夹具，仅需一台设备即可实现批量加工。
由于每台设备都配备了多个吸附夹具，因此无需多台设备，就能以高精度进行静电夹具的批量生产。
同时加工多个产品不仅可以降低成本，还能减少产品的搬运次数，从而减轻工人的工作负担。

高精度=品质提升

④ 通过数字控制实现精准的加工技术。
借助数字控制来调节设备系统，从而精确控制加工参数。
通过系统化的方式控制喷嘴的位置以及研磨材料的喷射量，这样就能确保在同一个加工面上，切削量和切削范围保持一致，不会出现偏差。
即便需要加工多个工件，也能始终在相同的条件下进行加工。

⑤ 通过高精度的旋风分级装置来保持研磨材料的粒度恒定。
借助旋风分级装置，可以保持研磨材料的粒度稳定，并使其持续循环使用，从而确保稳定的切削性能。

⑥ 搭载研磨材料定量喷射装置，可实现研磨材料的精确喷射
本公司采用了独特的研磨材料定量喷射装置，从而能够控制研磨材料的喷射量，使其保持稳定。通过数字控制，还可以对喷射量进行调节。

⑦ 通过异物去除系统防止污染
借助自主研发的异物去除系统，可清除那些会妨碍稳定加工的层压板碎片及陶瓷基板的切割碎屑等。