气密连接器又称“馈通连接器”，用于将多芯电线引入真空腔体(ex:真空容器、压力容器)。

Globetech的气密连接器有两种密封方法：

• 陶瓷绝缘（银钎焊密封）

• 玻璃绝缘和密封

两者即使在高温和高压差下也能保持稳定的性能。 MIL-C-5015标准插头用于大气侧，Globetech开发的真空侧插头用于真空侧，可以在多极上轻松安装/拆卸。安装到客户设备上时，请使用通用标准法兰。

支持从热电偶信号到大电流加热器电源的多种规格。广泛应用于半导体制造设备和平板显示器制造设备。

特点

• 组合使用14芯和通用法兰的半标准设计。

• 可提供定制产品

• 两种密封方式

• 用于小批量生产的陶瓷绝缘和银钎焊密封。

• 用于大批量生产的玻璃绝缘和密封。

• 芯数：3～48芯

• 电流值：3A〜46A /1芯

• 支持从真空（1x10-10Pa）到加压（2MPa）的压力范围

• 泄漏率：1×10-10 Pa·m3 /s以下

• 耐热温度：连续工作条件下200℃，短时间（烘烤）工作条件下350℃

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应用

• 真空环境（半导体制造设备、平板显示器制造设备、航空航天设备、化学和材料研究设备等）

• 高压环境（高温处理过的金属腔室设备等）

• 具有高电流规格（加热电源等）和低电流规格（热电偶信号等）的设备

• 高压使用环境（用于静电吸盘电源等）

定制方案

气密连接器引入实例

气密连接器是将事先准备好的针型和标准法兰焊接而成的半标准产品。还可根据客户的要求定制针型和法兰。

案例 1

问题

使电缆穿过真空容器，并用粘合剂密封该孔。当真空度升高时，发生漏气，因此无法收集数据。

解决方案

Globetech的气密连接器是直通接头，具有出色的气密性，可以大大减少泄漏量。Globetech的气密连接器广泛应用于半导体制造设备和空间试验室，并在超高真空方面取得许多成就。

案例 2

问题

断开电缆连接时，电缆是从真空到大气的连接，就像一条电缆一样，因此所有设备都需要更换，并进行大规模维修。

解决方案

Globetech的气密连接器由三部分组成：密封的连接器主体，大气压插头和真空插头，可以进行部分更换并改善维护。

案例 3

问题

由于其他公司的密封连接器的性能较差，当暴露在高温下时，密封圈破裂，发生泄漏。

解决方案

Globetech所采用的两种绝缘方法“陶瓷绝缘”和“玻璃绝缘”都具有抗高温或高压差的强大特性，因此解决了泄漏问题。

插针和规格（符合MIL-C-5015）

气密连接器引入实例

气密连接器（不带法兰）

如需将气密连接器直接焊接并连接到设备的容器上，请使用不带法兰的气密连接器。

气密连接器 （带法兰）

带法兰的密封连接器适用于以下条件：

• 已焊接到真空室的端口。

• 拧到容器的隔板上时。

• 要通过夹子将气密连接器连接到端口时。

使用法兰型气密连接器时，可以在维护期间轻松将其卸下。真空法兰的标准产品已有不少，例如ICF，KF（NW）和ISO，Globetech可以生产用于加压的标准法兰和原始形状的法兰。

双插座气密连接器

当容器侧使用多极插头进行连接且需要进一步防止掉落或误插入时，Globetech气密连接器应使用容器侧带有“公螺纹的“双插座类型”。对于要连接的容器侧插头，请使用专门的空气MS连接器或不锈钢材料制成的容器侧插头。

不带法兰的双插座气密连接器

带法兰的双插座气密连接器

焊杯气密连接器

如需将电缆焊接到气密连接器的插针上，可以使用容器侧为焊杯形状的连接器进行焊接，大气侧用普通MS接头连接。

不带法兰的气密连接器

带法兰的焊杯气密连接器