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森泽气体发生器/气体处理

森泽UV253系列

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【UV臭氧清洗法的特点】

	●	能够轻松去除那些仅靠超声波清洗无法除去的、存在于基板上的有机污染物。
	●	还会去除在湿式清洗过程中使用的有机溶剂。
	●	无需损伤基板表面，即可去除有机污染物。
	●	L-B膜的累积变得更加容易了。（累积率大幅提升。）
	●	这是一种可在标准大气压下使用的干洗设备，无需真空装置。

UV臭氧清洗法的特点】

	●	能够轻松去除那些仅靠超声波清洗无法除去的、存在于基板上的有机污染物。
	●	还会去除在湿式清洗过程中使用的有机溶剂。
	●	无需损伤基板表面，即可去除有机污染物。
	●	L-B膜的累积变得更加容易了。（累积率大幅提升。）
	●	这是一种可在标准大气压下使用的干洗设备，无需真空装置。

【本公司设备的特点】

	●	台式型号体积小巧，可放在桌上，不会占用太多空间。
	●	可以进行气体置换操作。通过连接氧气和氮气，并预先设定各自的流量，系统就能自动完成氧气导入→紫外线清洗→氮气导入（臭氧排出）这一流程。 ※可以利用氧气来提高臭氧的产生效率，同时利用氮气来排除臭氧。
	●	（配备直管型灯管的UV253V8）由于采用封闭结构，因此不会发生臭氧泄漏现象。该设备的内部空间可以保持在0.02MPa的加压状态，这也是其封闭结构带来的优势。当连接气体罐使用时，无需外部空气进入，即可自动完成氧气注入→紫外线清洗→氮气注入（臭氧排出）的全过程。 ※臭氧泄漏不仅会缩短设备部件的寿命，还可能影响化学、生物等实验数据的准确性，因此属于严重问题。（除上述机型之外的其他型号）当连接臭氧消除器使用时，同样不会发生臭氧泄漏现象。当连接气体罐使用时，无需外部空气进入，即可自动完成氧气注入→紫外线清洗→氮气注入（臭氧排出）的全过程。
	●	针对臭氧和紫外线带来的风险，也采取了完善的预防人为错误措施。作为可选配置，还提供了臭氧检测系统以及门锁装置。（臭氧检测系统）在使用臭氧消除剂或用氮气冲洗之后，会先检测清洗室内的臭氧浓度，确认其低于安全标准后才会打开门。（门锁装置）通过专用的锁止装置，可以在紫外线灯工作时（即臭氧生成期间）防止门被打开。（臭氧检测系统与门锁装置的联动）通过将臭氧检测系统与门锁装置结合使用，只有当清洗室内的臭氧浓度低于安全标准时，门才会被打开，从而进一步提升使用安全性。
	●	根据使用需求，您可以从两种具有不同特性的UV灯中选择——直管型UV灯与高密度高功率网格型UV灯。
	●	对于上述两种低压汞灯，我们有熔融石英材质和合成石英材质两种选择，您可以根据实际需求来挑选合适的类型。设备本体无需做任何改动，日后也可以更换灯泡。 ※与熔融石英材质相比，合成石英材质在发射184.9纳米波长的光方面表现更为出色（约为1.7倍），因此其清洁效率也会显著提升。
	●	计时器采用数字式设计，可进行递减计数。
	●	选项的臭氧破坏剂（臭氧分解装置）如果将其连接起来，就可以去除臭氧并将其排出室外，从而充分保障工作环境的安全。
	●	由于采用尼龙制管道以及一键式接头进行连接，因此安装极为简便，且便于拆卸。
	●	连接管由尼龙制成，因此可以随意切割长度。

应用程序

◆薄膜制备前处理
有机EL的ITO膜清洗LB膜沉积前的基板清洗处理光刻胶清洗硅晶圆、透镜、镜子、太阳能电池板、冷轧钢、惯性导航子组件、GaAs晶圆的清洗混合电路与平板LCD的清洗提升塑料涂层的附着力采用浸涂法进行成膜前的基板清洗处理
电子显微镜相关用途
SEM・TEM样品的污染去除提升钻石刀与玻璃刀的湿润性及亲和力可提升膜的湿润性与亲水性
其他
生物实验仪器的杀菌与清洗AFM悬臂梁PDMS的表面改性超高真空用密封件的清洗去除磁通量特氟龙、巴顿及其他有机材料的蚀刻玻璃排气去除晶圆胶带从已测试的晶圆上去除油墨Ta2O5电介质膜的退火

产品系列

紧凑型标准型号

	UV253V8	UV253V8R	UV253H	UV253HR
光源种类	低压水银灯（熔融石英）	低压水银灯（合成石英）	低压水银灯（熔融石英）	低压水银灯（合成石英）
光源形状	直管型		格栅型
灯管数量	3		1
工作波长	184.9nm、253.7nm
清洗室内尺寸（W×D×H）	204×207×142 mm		208×205×168 mm
外形尺寸（W×D×H）	400×300×270 mm		400×370×270 mm
电源规格	100V 5A
紫外线强度	5.2mW/cm²（单根灯管）		28mW/cm²
可选配件	臭氧消除器、调压阀、流量计		调压阀、流量计
氧气计时器	数字式		数字式（与 UV 计时器共用）
UV 计时器	数字式		数字式（与氧气计时器共用）
氮气计时器（臭氧排气）	数字式
臭氧消除器联动电源插座	有
门联锁结构 - UV 灯管熄灯	有
门联锁结构 - 电磁阀切断	有
灯管累计计时功能	无		有
臭氧消除器配置	选配（型号 UV253‑OZ）		标准配备

适用于12/16英寸晶圆的型号

	UV253 V12	UV253 V12R	UV253 V16	UV253 V16R	UV253 H12	UV253 H12R	UV253H16	UV253H16R
光源种类	低压水银灯（熔融石英）	低压水银灯（合成石英）	低压水银灯（熔融石英）	低压水银灯（合成石英）	低压水银灯（熔融石英）	低压水银灯（合成石英）	低压水银灯（熔融石英）	低压水银灯（合成石英）
光源形状	直管型				格栅型
灯管数量	5		7		3		6
工作波长	184.9nm、253.7nm
清洗室内尺寸（W×D×H）	335×330 ×128 mm		438×430 ×130 mm		335×330 ×168 mm		438×430 ×160 mm
外形尺寸（W×D×H）	530×510 ×270 mm		630×600 ×280 mm		530×510 ×480 mm		630×600 ×480 mm
电源规格	100V 5A				100V 15A		100V 23A
紫外线强度	5.2mW/cm²（单根灯管）				28mW/cm²
可选配件	调压阀、流量计、设备安装脚轮
氧气计时器	数字式				数字式（与 UV 计时器共用）
UV 计时器	数字式				数字式（与氧气计时器共用）
氮气计时器（臭氧排气）	数字式
臭氧消除器联动电源插座	有
门联锁结构‑UV 灯管熄灯	有
门联锁结构‑电磁阀切断	有
灯管累计计时功能	无				有
臭氧消除器配置	标准配备