参考价格
1万元以下型号
NAC 系列品牌
产地
日本样本
暂无森泽金属与冶金行业专用仪器
森泽NAC 系列
国产金属与冶金行业专用仪器
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＜NAC系列的主要特点＞
●针对硅晶圆，可全自动完成气相分解→污染物回收→稀释已回收样本等工序。
●既可对疏水性晶圆也可对亲水性晶圆进行回收（仅能对带有倒角的疏水性晶圆进行回收）。
●当需要一次性从大量晶圆中提取样本进行分析时，这是一种极为实用的设备。
●具备对回收的药液进行计量和稀释的功能，可防止在晶圆上仍有药液残留的情况下继续操作。
●采用独特的双门结构，可防止作业空间内的酸性环境与操作人员所在区域的污染相互混合。
●具备自动清洗用于采样的固定装置的功能，可减少操作人员的劳动量（※适用于表面用和侧面用的固定装置）。
也有能够全自动完成“批量蚀刻→晶圆污染物回收”工序的装置（NAC-304）。
此外，近年来，为了降低污染程度，人们越来越需要能够实现“批量蚀刻→晶圆污染物回收→通过ICP-MS进行自动元素分析”这一整套流程的装置（NAC-316）。
| 装置名 | NAC-302 | NAC-304 | NAC-316 | |||||||
| 对应晶圆尺寸 | 125毫米，150毫米， 200毫米，300毫米 | 125毫米，150毫米， 200毫米，300毫米 | 300毫米 | |||||||
| 操作 | 本体内置的电脑 | |||||||||
| 批量蚀刻功能 | ー | 〇 | 〇 | |||||||
| ICP-MS自动连接功能 | ー | ー | 〇 | |||||||
| ICP-MS校准曲线自动调整功能 | ー | ー | 〇 | |||||||
| 支持路德端口 | ー | ー | 〇 | |||||||
| 基本回收模式 | 环形、固定半径、侧面 | |||||||||
| 外形(W×D×H)(毫米)(※1) | 1850×1350×2000 | 2000×1500×2000 | 1700×2800×2300 | |||||||
| 使用设备 | 酸排水、一般排气、酸排气 | |||||||||
| 使用场所 | 洁净室内 | |||||||||
| 必要实用工具 | 电源（AC100V 15A）、氮气、 纯水、洁净干燥空气 | 电源（AC100V 15A）、氮气、氧气、 纯水、洁净干燥空气 | ||||||||
※1：不包括凸起物。
从晶圆盒上料、气相分解、定点采样、药液回收、定量稀释到容器自动清洗全部程序自动执行，无需人员中途干预，单日可完成数十片晶圆批量检测，完美匹配晶圆工厂量产线高频抽检需求，是 SC 简易机型的产能升级版本。
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