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日本 NAS 技研 NAC 系列 微量金属污染物全自动回收装置
日本 NAS 技研 NAC 系列 微量金属污染物全自动回收装置

参考价格

1万元以下

型号

NAC 系列

品牌

产地

日本

样本

暂无
深圳森泽工业品有限公司

金牌会员

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第1年

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森泽金属与冶金行业专用仪器

森泽NAC 系列

国产金属与冶金行业专用仪器

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<NAC系列的主要特点>
●针对硅晶圆,可全自动完成气相分解→污染物回收→稀释已回收样本等工序。
●既可对疏水性晶圆也可对亲水性晶圆进行回收(仅能对带有倒角的疏水性晶圆进行回收)。
●当需要一次性从大量晶圆中提取样本进行分析时,这是一种极为实用的设备。
●具备对回收的药液进行计量和稀释的功能,可防止在晶圆上仍有药液残留的情况下继续操作。
●采用独特的双门结构,可防止作业空间内的酸性环境与操作人员所在区域的污染相互混合。
●具备自动清洗用于采样的固定装置的功能,可减少操作人员的劳动量(※适用于表面用和侧面用的固定装置)。

也有能够全自动完成“批量蚀刻→晶圆污染物回收”工序的装置(NAC-304)。
此外,近年来,为了降低污染程度,人们越来越需要能够实现“批量蚀刻→晶圆污染物回收→通过ICP-MS进行自动元素分析”这一整套流程的装置(NAC-316)。


装置名NAC-302NAC-304NAC-316
对应晶圆尺寸125毫米,150毫米,
200毫米,300毫米
125毫米,150毫米,
200毫米,300毫米
300毫米
操作本体内置的电脑
批量蚀刻功能
ICP-MS自动连接功能
ICP-MS校准曲线自动调整功能
支持路德端口
基本回收模式环形、固定半径、侧面
外形(W×D×H)(毫米)(※1)1850×1350×20002000×1500×20001700×2800×2300
使用设备酸排水、一般排气、酸排气
使用场所洁净室内
必要实用工具电源(AC100V 15A)、氮气、
纯水、洁净干燥空气
电源(AC100V 15A)、氮气、氧气、
纯水、洁净干燥空气

※1:不包括凸起物。

创新点

从晶圆盒上料、气相分解、定点采样、药液回收、定量稀释到容器自动清洗全部程序自动执行,无需人员中途干预,单日可完成数十片晶圆批量检测,完美匹配晶圆工厂量产线高频抽检需求,是 SC 简易机型的产能升级版本。

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