参考价格
1万元以下型号
MSP-40T品牌
产地
日本样本
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森泽MSP-40T
国产常用器具/玻璃耗材
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该设备是一种多功能、操作简便的磁控溅射镀膜装置。它属于小型台式、占用空间小的设备，能够利用强磁场实现多种金属的镀膜。
在较低电压下即可进行镀膜处理，同时由于样品采用悬浮式结构，因此可以大大减少样品的损伤。
配备触摸屏操作界面及配方功能，可通过序列控制器实现全自动溅射镀膜过程。
该产品包含设备主体以及隔膜泵。此外，还需要氩气与冷却水循环系统，因此请先确认相关设施是否具备。
大容积玻璃样品腔：Φ160mm 腔体，可同时装载整片 4 英寸晶圆 + 多批次小型粉体、块状试样，兼容全品类基材；
低损伤浮动磁控工艺：绝缘浮动台 + 低压放电，样品温升≤5℃，适配生物、塑料、纳米焦炭等高敏感材料。
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