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日本 真空设备 磁控溅射装置MSP-12in
日本 真空设备 磁控溅射装置MSP-12in

参考价格

1万元以下

型号

MSP-12in/MSP-12s

品牌

产地

日本

样本

暂无
深圳森泽工业品有限公司

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森泽常用器具/玻璃耗材

森泽MSP-12in/MSP-12s

国产常用器具/玻璃耗材

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QQ浏览器截图20260710134948.png

配备了适用于12英寸晶圆的大面积样品台。采用磁控管技术,在500伏及以下的涂覆电压下即可降低离子对样品的损伤。

具备自动涂覆功能,可从脱气、引入气氛气体到涂覆整个过程全部实现自动化。
配有便于样品插取的前置滑动式样品台。安装银靶后,还可轻松对透明薄膜等进行光泽处理。

我们有采用全面涂层工艺的MSP-12in,以及采用部分涂层工艺的MSP-12s可供选择。

该产品包含设备主体、标准靶材(铂金)、旋转泵以及SUS材质的柔性软管,为一体式套装。此设备需要相应的安装使用说明。


image.png

创新点

≤600V 低压低损伤磁控工艺:绝缘浮动样品台 + 宽幅可控电流,样品温升≤3℃,完美适配 SiC/GaN 宽禁带晶圆、纳米炭素粉体、热敏生物薄膜等高敏感基材;
全系列贵金属大靶可选:Au-Pd 通用靶适配常规 FE-SEM,Pt/Pt-Pd 适配 20 万倍以上超高分辨 FE-SEM/FIB 保护层制备,银靶适配透明光学基材观测.

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