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层流 M 系列
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适用于大多数气体测量
层流 M 系列
量程：0.5 SCCM – 12,000 SLPM （可选）
工作压力：11.5 – 160 PSIA
精度：高达 ±读数的 0.5%
重复性：±（读数的 0.1% + 满量程的 0.02%）
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