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产品简介：
3D全自动磁场探针台主要面向晶圆片在磁场作用下的快速磁性能或电性能表征,其集成了三维磁场发生器和先进的可定制硬件,为磁性器件(磁传感器和磁存储器)的开发、工艺和生产带来了完整的测试解决方案。可满足MRAM晶圆的磁性能与电性能表征需求,通过磁场(面内/垂直)的精确控制测量器件的磁阻特性。结合脉冲发生模块可测量器件的RV曲线、翻转概率Psw误码率WER与循环特性等;可测量磁传感器件偏置特性、工作区间、线性度等参数。
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