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YOF
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| 粉末 | 牌号 | 主要成分（%） | 涂层功能与应用 | 粒度分布（μm） | 产品图片 |
|---|---|---|---|---|---|
钇铝石榴石 （YAG） | TCR-886 | Al₂O₃:43% Y₂O₃:57% | 20~65 40~95 | ||
氟氧化钇 （YOF） | TCR-885 | YOF＞99.9% | 熔点：1387℃，不溶于水，难溶于盐酸、硝酸、硫酸，在空气中有吸湿性，性质较稳定。涂层具有致密膜品质，开裂和开孔少，能有效抑制颗粒污染物和卤素系腐蚀性气体侵入。 适用于液晶面板、半导体蚀刻设备部件的涂层。 | 45~90 20~65 | |
氟化钇 （YF₃） | TCR-887 | YF₃＞99.9% |
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