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碳碳加热器
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碳/碳主加热器主要用于提供均匀的热量分布，控制温度梯度，促进多晶硅或单晶硅的生长。
密度，g/cm³
≥1.50
室温导热系数（W/(m·K)）
≥40
室温电阻率，μΩ·m
20-30
热态电阻率，μΩ·m
14-20
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