参考价格
1万元以下型号
TOMOS-80XY品牌
产地
日本样本
暂无功率（kw）：
AC100-240V，额定功率 0.35kW重量（kg）：
约 45kg（含主机，不含显示器）规格外形（长*宽*高）：
紧凑型整机，参考尺寸约 W500×D500×H650mm（定制）Sreen其它辅助设备
SreenTOMOS-80XY
国产其它辅助设备
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日本 FLOVEL TOMOS-80XY 电动 XY 平台双面显微镜系统，是专为半导体晶圆、MEMS、大尺寸电子元器件打造的全自动高精度双面检测设备，搭载 200×200mm 大行程电动 XY 平台与自动对焦功能，可实现预设测量点位自动移动、双面同步拍摄、全自动位置偏移与尺寸测量，彻底解放人工，适配无人化产线检测需求。
设备搭载双 320 万像素 CMOS 相机（彩色 / 黑白可选），支持 5/10/20 倍物镜切换，Z 轴 ±10mm 焦距调节并集成自动对焦；配备双路白色 LED 照明（软件控制正立 / 倒立），适配落射、透射、复合照明模式，清晰呈现样品表面与深层特征。内置表裏光轴补偿、镜头倍率补偿、相机角度补偿等功能，精准校正双面光路，实现无失真测量；支持自动边缘检测、中心坐标提取、位置偏移计算、双面图像合成，可批量完成多点位自动测量，生成地图式检测报告，彻底消除人工测量误差。
设备搭载 Windows 11 Pro 控制系统，支持竖屏双画面同步显示、测量数据自动输出、地图制作、连续移动测量等功能；支持软件与样品夹定制，可根据工件形状定制专属夹具与测量算法，广泛应用于半导体晶圆、水晶振子、MEMS、电子元器件等的双面位置偏移、尺寸测量、外观缺陷检测，是半导体高端制造与自动化产线的核心检测设备。
✅ 大行程电动控制：200×200mm 电动 XY 平台，预设点位自动移动，无人化批量检测
✅ 自动对焦功能：Z 轴自动对焦，适配不同高度样品，无需人工调节
✅ 双面同步高精度检测：双 320 万像素相机同步拍摄，微米级光轴补偿，精准测量位置偏移
✅ 全倍率多场景适配：5/10/20 倍物镜，覆盖全景到细节的全流程检测
✅ 丰富自动化功能：自动边缘检测、地图制作、连续测量、数据自动输出
✅ 定制化扩展：支持软件与样品夹定制，适配各类工件与产线需求
✅ 工业级稳定设计：双路照明、光路补偿，适配半导体洁净车间环境
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