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面议型号
量产型纳米压印设备品牌
光舵微纳产地
广东样本
暂无规格外形（长*宽*高）：
-生产能力（kg/h）：
-适用物料：
-动力类型：
其他功率（kw）：
-重量（kg）：
-压制设备
量产型纳米压印设备
国产压制设备
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设备性能：
12英寸晶圆及以下兼容
晶圆预清洗，匀胶，及冷热板功能
全自动晶圆传送
全自动柔性模板制作及自动压印工艺流程
*低线宽小于20nm
压印深宽比至10:1
兼容高刻蚀比压印胶压印
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