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6寸多片石墨盘品牌
兴晟新材产地
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6寸多片石墨盘
国产石墨
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耐高温（真空 / 惰性气氛下可达 2000℃+）、热膨胀系数极小、导热均匀，避免晶圆 / 工件受热翘曲；
化学惰性强，不与大多数工艺气体（NH3、SiH4 等）反应；
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