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外延生长炉品牌
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浙江样本
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-真空炉
外延生长炉
国产真空炉
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晶盛机电研发的8英寸单片式硅外延生长炉,可兼容6英寸、8英寸硅晶片生长,结构可靠稳定,有较好的膜厚和电阻均匀性
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