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石墨类产品纯化
国产粉体焙烧炉
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技术指标及产品用途
石墨件经过纯化得到<5PPM的高纯石墨产品高纯石墨部件用于半导体晶体生长、外延、离子注入、等离子蚀刻等制造工艺。
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