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S系列气体层流质量流量计用于实时测量过程气体的流量，特有的层流压差技术及**核心算法，内置的高精度压力、温度传感器实时补偿，产品具有高精度、高重复性、低零点、温度、压力漂移量等特点，强大的触摸显示屏可显示实时压力、温度、工况流量、标况流量、累计流量，多气体触摸式切换，无须转化系数。
特征
高精度（可溯源）
±0.5%~±1.0%
读数精度
量程范围
0.5sccm~5000slpm
快速响应
100ms
无需预热
更改气体介质、调整混合气体比例
触屏式操作
修改部分参数信息
高可靠性
高抗过载、电磁干扰
能力
适用范围
宽温度、压力
宽量程比
100:1
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