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HON-He/Ar/Ne/Xe-S/W/VVV系列惰性气体纯化器品牌
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HON-He/Ar/Ne/Xe-S/W/VVV系列惰性气体纯化器
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工艺介绍：
（1）通过物理和化学吸附方式脱除O2、CO、CO2、H2O、H2等杂质。
（2）吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生，反复使用。
（3）多柱交替吸附、再生，可连续供气。
应用领域：
集成电路制造行业
半导体、LED、激光、太阳能光伏行业
气体行业
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