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典型应用
化工行业、硅片产业、 LED、激光、航空航天业，光纤产业
工艺介绍
1、气体通过催化和吸附工序，深度脱除气体中的0₂、H₂O、CO₂、CO、H2 、THC等杂质。
2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。
纯化指标表
气体类别 | 可纯化气体 | 去除杂质 | 纯化指标 |
D-惰性气体 | N₂、Ar、He、Ne、Kr | H₂0、0₂、CO、CO₂、H₂、THC | <10ppb |
Y-氧气 | O₂ | H₂O、CO₂、CO、H₂、THC | |
Q-氢气 | H₂ | H₂O、0₂、CO、CO₂、THC |
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