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抑制微粒粉尘的选项
切割部二流体喷嘴。
Spinner部二流体喷嘴。
工作盘水帘来防止因微粒干燥所引起的硬化。
强抽风管（主轴）。
标配功能
自动刀痕校正（Auto Kerf Check）。
非接触式刀高测量（NCS，Non-Contact Setup）。
刀片断裂检测（Blade Broken Detector）。
二流体喷嘴。
规格 | 单位 | TS861 | |
(1.2/1.8/2.4Kw) | |||
**工作范围 | mm | Φ200/Φ150 | |
X-axis | Cutting range | mm | 210/160 |
Cutting speed | mm/sec | 0.1-1,000 | |
Y1、Y2-axis | Cutting range | mm | 210 |
Index step | mm | 0.0001 | |
Index positioning accuracy | mm | 0.003/210 | |
mm | 0.002/5(Single error) | ||
Z-axis | Max. stroke | mm | 14.2(Forφ2”blade) |
Moving resolution | mm | 0.0000003(24bit) | |
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |
ϴ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 |
Spindle | Rated torque | N．m | 0.27 |
Revolution speed range | rpm | 6,000-60,000 | |
Machine dimensions (W x D x H) | mm | 1,250 x 1,600 x 1,890 | |
Machine weight | kg | 2,000 | |
全自动双轴晶圆切割-TS861的工作原理介绍？
