一、环保型12英寸电子级硅片切割专用液产品简介

  我司致力于实现“标新创异”，立足精细化工， 以核心化工科学为基础，运用聚合、强制乳化

技术，开发、制造环保型切割专用液。适用于硅、碳化硅、锗、砷化镓、钽酸锂、铌酸锂、钕铁

硼等半导体产品领域，具备优异的分散性、抗剪切性、高附着性、防锈性等特点。研发出的12英

寸电子级硅片切割专用液具有优异的抑泡性、防腐防锈性、悬浮性、散热性、润湿性、分散性、

易清洗等特点，有效控制硅片表面翘曲度、线痕、TTV、崩边等。本品具有优异的环境友好性，

不易燃、不易爆、****、无刺激性。

二、环保型12英寸电子级硅片切割专用液技术参数

  本品特别适用于12英寸（300mm）大硅片的切割。产品具有优异的散热性，能有效控制硅片

表面翘曲度指标。

三、环保型12英寸电子级硅片切割专用液产品特点

1理化特点：

1)高比热容、导热系数、稳定性、安全性；

2)恒定pH 酸碱度、表面张力、切割稳定性；

3)低泡沫性；

4)与韧料良好的配伍性，实现****率、高质量、低成本切割。

5)切割后与硅粉、碳化硅易分离，可实现资源的重复利用。

2性能特点：

1)好的水溶性：不易在设备管道、浆料缸、导轮、硅片上残留，便于硅片和机台的清   洗；

2)杰出的抑泡性：具有优异的低泡沫性；

3)良好的防腐防锈性：pH值适中，有效保护切割设备；

4)独特的悬浮性：有效悬浮碳化硅颗粒，提高切割效率，降低切割消耗；

5)优异的流动性和散热性：能迅速带走切割过程中产生的热量，有效控制硅片翘曲度   指标，保证

切割表面质量；

6)优越的润湿性和分散性：具备高排屑性，能够快速润湿硅粉并均匀分散，不易聚     集，切割时

对碳化硅颗粒有优异的分散性能，硅片品质均匀；

7)适中的润滑性：耐高温，抗剪切，高的承载能力和极压能力，可在硅片表面形成     保护膜，降

低切割阻力，有效抑制硅片表面划伤；

8)优良的环境友好性：产品成分全部采用环保型材料，不易燃易爆、****性、无     刺激性。