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CsU030 sic晶片宏观缺陷检测设备品牌
中科慧远产地
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CsU030 sic晶片宏观缺陷检测设备
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CsU030 sic晶片宏观缺陷检测设备
CSU030设备为中科慧远针对SiC晶片制程过程中外观类缺陷进行宏观检测的缺陷检测设备。该设备运用机器视觉的原理，结合自研的AI算法平台可实现各类缺陷的检测和分类。设备适用于划伤类、崩边、包裹、脏污等人眼可见缺陷的检测，并能够区分正反面的划伤，以定义不同的管控规格。
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