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900℃管式炉
高真空管式炉
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设备性能指标 | ||
1 | 工位数 | 1-2管(可依据实际生产工艺设计) |
2 | 额定温度 | 900℃ |
3 | 工艺温度 | 500℃-800℃ |
4 | 加热温区段 | 3-5段独立控温,(可依据实际生产工艺设计) |
5 | 系统极限真空度 | ≤5*10-4Pa |
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