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采用双面无接触的方式对晶圆进行清洗或蚀刻的专用设备，适用于2"-6"晶圆、4″- 8″晶圆、8″- 12″晶圆。
工艺过程可编程，适应不同工艺需求
可对正面及背面同时进行清洗或腐蚀
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