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硅碳负极流化床是一种用CVD气相沉积和包覆硅碳负极材料的生产装置。利用载气通过气体分布器将多孔碳粉体在反应容器内流化,
再将含硅气体原料经过流量配比,混合后进入反应容器;在高温下含硅气体原料裂解为硅和氢,
硅原子沉积在多孔碳孔道内形成为纳米硅。沉积完成后,再次升温通入乙炔进行高温裂解,完成碳包覆处理。
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