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深紫外激光器
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特征：
线宽窄；
光束质量好，焦点光斑小，实现超细加工；
热影响面积小，不产生热效应；
结构紧凑，体积小巧；
应用：
OLED屏幕切割、打孔；
LIBS光谱仪，拉曼光谱仪；
基因测序等医疗生物领域；
激光晶体 | Nd:YVO4 | Nd:YVO4 | Nd:YVO4 | Nd:YVO4 |
波长 | 266nm | 266nm | 213nm | 213nm |
功率 | 0.5W | 1.5W | 0.2W | 0.5W |
工作频率 | 30kHz | 30kHz | 10kHz | 10kHz |
单脉冲能量 | 16uJ | 50uJ | 20uJ | 50uJ |
脉冲宽度 | ＜20ns | ＜25ns | ＜20ns | ＜20ns |
重频频率 | 10kHz~100kHz | 10kHz~100kHz | 10kHz~100kHz | 10kHz~100kHz |
光束质量 | ＜1.5 | ＜1.5 | ＜1.5 | ＜1.5 |
光斑圆度 | ＞80% | ＞80% | ＞80% | ＞80% |
脉冲稳定性 | ＜5% | ＜5% | ＜5% | ＜5% |
偏振方式 | 水平 | 水平 | 水平 | 水平 |
冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
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