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性能特点：
֍是具有高度灵活性的微波等离子发生器 ֍可以有效应用在各种精密复杂的科研实验中 ֍对于表面净化、超细清洗和表面活化及实时样品制备的分析方法多样化应用 ֍是广泛的操作范围内的气体流量和微波功率等不可缺少的先决条件 |
主要技术参数：
输出功率 | 260W － 1500W |
| 极限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
| 气体质量流量控制 | 多路 |
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