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气体注入设备
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气体注入设备

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江苏卓远

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江苏

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江苏卓远半导体有限公司

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气体发生器/气体处理

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卓远半导体运用先进工艺,以气体注入工艺技术为核心,研发出气休注入设备,需搭配我司 Intelligent MPCVD Diamond Growth System (IMD)系列金刚石晶体生长系统使用。


Intelligent Gas Injection System (IGI)系列气体注入系统,采用微波电浆化学气相沉积法(MPCVD)制备,主要用于金刚石长晶过程中的气体注入。


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