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技术参数:
1、真空度:极限真空度5*10-3Pa (不通氩气);
2、*高压:(1)100~10000V;
3、样品台可旋转;
4、具有自保护功能;
5、双离子枪可独立控制;
6、样品冷却:半导体冷却( 选配件)。
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