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台阶仪/膜厚仪ET10000产品参数
| 重现性 | 1σ 1nm |
|---|---|
| 测定范围 | Z:100um |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 测定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
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