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在半导体工业中，高纯石墨主要是作为加热系统、保温罩、电极等存在，采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温这一特点。高纯石墨的耐腐蚀、抗氧化、导电导热的优点应用到了半导体工业中，使工件使用寿命更长、更加减磨省电。
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