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硅单晶炉
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网络化磁场硅单晶炉可实现全自动化控制，具有高精度自动抽空检测系统、高精度质量流量自动控制系统、高精度自动加热检测控制系统、高精度水温自动检测控制系统、高精度谐波抑制与无功功率自动补偿系统等。具备多台设备的集中监控、数据传输和管理等接口，可实现拉晶网络化管理，详细地拉晶记录备份。各操作参数可实现摸屏控制。具有各种连锁及安全保护措施，如水温报警、压力防爆阀、主副室限位互锁、过流报警等。
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