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金属污染实时监控系统
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市场需求:
针对于半导体化学品和超纯水(UPW)金属污染的实时监控,对于提供改进制造工艺和提高产品产量所需的信息至关重要。在交付(通过罐车或桶)、中央化学品供应等过程中,需要进行 24/7 全天候金属杂质检测,以监控金属污染的实时状态。
优势:
我们公司先进的在线实时痕量金属监测系统,可检测半导体工艺化学品,超纯水,为客户提供**的半导体工艺化学品和超纯水的监控方案。
1. 全自动系统,自动取样、稀释、传递、检测、清洗、校准,实现24/7 全天候监控;
2. 软件系统与工厂MES实时通信,反馈数据,减少意外污染造成的产品损失;
3. 集成ICP-MS,全封闭设计,样品经管路直接进入ICP-MS,降低污染的可能性;
4. 金属元素检测范围广,检测精度高,检测极限~1ppt;
5. 设备内部酸、碱或其他区域隔离,均有各自的排水管装置,防止交叉污染;
6. 泄漏联锁传感器检测到任何泄漏时自动关闭所有化工阀门,安全可靠;
7. 由分析单元(CAU)和采样单元(SSU)组成,*多支持4个SSU(20个取样点),*远支持200米的输送距离;
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