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单晶炉
国产管式炉
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单晶炉是软轴提拉型晶体生长设备，在低于常压的惰性气体环境中，以石墨电阻加热器加热，将填充在石英坩埚内的多晶硅材料熔化，用直拉法生长无位错的高质量单晶设备。目前可生产 CZ160 型及以上单晶炉设备。
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