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碳化硅PVD载盘经等静压工艺成型、高温烧结而成。亦可根据用户设计图纸要求进行外径、厚度尺寸，穴位数量、尺寸、取片槽位置和形状进行精加工，以满足用户的具体使用要求
特点和优势
高致密性
良好的导热性、低膨胀系数和均温性能
耐电浆冲击性
耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀
经过半导体级别清洗
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华信工业与国内某大型光伏巨头合作开发大尺寸碳化硅/碳陶融渗硅用真空炉，设备净尺寸达到φ3500×7500mm，加热温度1800℃。同时，可以根据用户需求定制开发。华信工业具备完善的研发团队，包括机械设
2025-07-04
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