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产品类别:晶圆退火
产品简介:卧式晶圆退火炉
极限温度:1100℃
加热尺寸(有效空间):Φ300 长1000mm
加热元件:电阻丝、灯管加热
适用于:4-8英寸晶圆硅片退火、氧化等热处理
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