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单晶炉
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在惰性气体环境中，用石墨加热器将保存在石英坩埚内的多晶硅等多晶材料高温熔化，再将籽晶放入变成液体的硅溶液里按自动程序用直拉法生长无错位单晶的设备, 可控制整体装料量，全自动控制拉晶过程, 全面数字化管理，采用中央集中控制系统,减少了人为因素的参与，保证质量稳定性。
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