EQ-77 激光驱动白光光源LDLS

对于生命科学和材料科学的研究人员来说，一个可以提供超高亮度和宽带光谱的光源是必不可少的。以前，为了达到宽光谱的需要，多采用复合光源的方式，将氘灯、氙灯、卤钨等等等集成在一起作为灯组来使用。但是，集成这些灯来实现宽光谱的灯组极大地增加了成本，影响了使用效率。这些传统的使用电极驱动的灯源， 由于高温的烧蚀，灯的寿命很短，需要经常更换灯泡。为了解决灯泡寿命过短的问题，Energetiq公司创造性地研发了激光驱动等离子体气体发光的技术， 即激光驱动光源技术(LDLS™=Laser-Driven Light Source)。这个技术不但解决了灯泡寿命短的问题，还同时大幅提高了气体燃烧温度，从而输出光谱范围拓展到170nm 到2100nm ，辐射亮度和稳定度也极大提升，使LDLS光源成为传统电极驱动灯组光源的**替代品。

结构紧凑、经济实用、高亮度、宽光谱、可单/双光束输出间切换、水冷散热；激光驱动等离子体发光技术。

EQ-77是一款超高亮度、高稳定性的宽带光源，专门用于苛刻的成像和光谱应用。相比于基础型号的EQ-99X和EQ-9，EQ-77能提供的输出光功率更加高，能达到~2W，波长范围仍为170-2100nm。同时，EQ-77的灯室设计也非常紧凑，也可以在两侧同时对称的输出光束，或加装反射器变更为单通道输出。EQ-77适用于工业检测等OEM客户。

LDLS^TM光源原理示意图

LDLS^TM光源与传统卤钨灯亮度对比

产品特点

• 光辐射>40mW/mm^2.sr.nm，快速测量

• 亮度更高，紫外-可见光-近红外光谱(170-2100nm)

• 噪声低，空间稳定性高

• 长使用寿命 > 9000 hrs（10%衰减）

• 灯室紧凑，结构简洁，水冷散热

• 可选双光束输出或带后向反射器的单光束输出

• 光输出可控

• 无需多个灯组，光学系统简化

• 无电极工作灯，使用寿命长，降低耗材成本，所需的重复校准次数少

典型应用

高性能光谱，单色仪光源，半导体计量与检测，材料特性分析，薄膜量测，PEEM，缺陷检测，其他需要长寿命灯的应用

主要参数

产品型号	EQ-77
光谱范围	170nm-2100nm
输出功率	~2W
光谱辐亮度	~40mW/mm^2.sr.nm
数值孔径	0.5NA
光源寿命	>9000hrs
输出方式	可选双光束输出或带后向反射器的单光束输出
光源重量	灯室2.2kg，控制器2.9kg
光源尺寸	灯室128×175×102mm，控制器152×250×132mm
应用范围	高性能光谱，单色仪光源，半导体计量与检测，材料特性分析，薄膜量测，缺陷检测，PEEM，其他需要长寿命灯的应用

EQ-77 光源的光谱辐亮度