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大型快速的3D白光干涉测量
使用高精度的压电马达
全电动系统
可用于直径从70mm的不同气缸
使用MountainsMap影像地形分析数据
SmartWLI-cylcheck参数
探测器
光源
: 白光LED系统组件
深层定位
: 电动可调节到200 mmX-Y定位
: 圆柱直径为电动调节可从70 mm调到155 mm
系统转动
: 可手动旋转Z-测量系统
: WLI/压电式底座的测量范围为100um测量转接器
: 用于安装在气缸上的转接器滚动箱
: 记录所有系统组件，包括工业PC对仪器的控制评估
: MountainsMap影像地形镜头选项
放大倍数 10x 20x 50x
在平方微米的测量领域 1290x965 645x480 258x190
NA 0，3 0，4 0，55
z方向分辨率 <5 nm <5 <5 nm
XY方向分辨率 1，9 µm 1，0 µm 0，7 µm
选项
Cylanalyse 圆柱表面的分析评价
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