Filmetrics F54 光学膜厚测量仪测厚仪

Filmetrics 薄膜测厚仪 F54薄膜测厚仪

Filmetrics 薄膜测厚仪 F54薄膜测厚仪 优势

桌面型膜厚测量仪的全球***

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直观的分析软件

附 加 特 性

嵌入式在线诊断方式

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精细的历史数据功能，帮助用户有效的存储，重现与绘制测试结果

免费现场演示/支持

点几下鼠标就可以在网络上在线看到现场演示！我们，我们的应用工程师会在电脑上为您演示薄膜测量是多么容易

自动化薄膜厚度分布图案系统

依靠 F54 先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得**直径 450 毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用 r-θ 极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。 系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。

可测样品膜层

基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括：

相关应用

半导体制造

光刻胶 氧化物/氮化物/SOI 晶圆研磨减薄/封装

液晶显示器

盒厚 聚酰亚胺 ITO

光学镀膜

硬涂层 抗反射涂层 滤光片

微电子

光刻胶 硅膜 氧化铝/氧化锌薄膜滤镜

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