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·PR500/510等离子灰化机
高频输出 50~500W，反应腔 Φ215×305mm
低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途
·去除光刻胶
·部品清洗
·界面活性处理
·微研磨
·硅晶圆，玻璃基板对应
特征
·大口径（Φ215mm）石英反应腔
·小型一体化设计
·操作简单的触摸屏方式（PR510型）
规格
型号 | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式，桶型 | ||
控制部 | 高频输出功率 | Max500W | |
频率 | 13.56MHz | ||
同调方式 | 自动协调 | ||
反应部 | 反应腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反应气体 | 2系统（O2／CF4） | ||
控制 | 手动 | 触摸屏自动控制 | |
配管材质 | 不锈钢、特氟龙 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 参照规格书 | |
重量 | 约60kg | 参照规格书 | |
电源 | 单相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
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