从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机

用途

● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通 过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影响）。 同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生 成-NH 2等官能基。

● 硅晶圆蚀刻。

● 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。

● 石棉预处理（膜过滤灰化）。

● 从电子设备到生化市场。

● 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。

● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。

● 表面有机物去除

特点

● RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。

● 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。

● 同步，自动调谐，操作简单（PR200）。

● 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。

● 同步、自动调谐（PR200）。

反应腔

［例］石棉分析前处理

规格