仪器简介：

• 2”~12” 手动/半自动/全自动湿制程设备及干燥机
• 传送技术: Cassette type / Boat type / Cassette-less
• 领域 : 半导体前后段 / LED / 蓝宝石/薄片/ GaAs / MEMS…
• 制程 : lean/Etching/PRStrip/Solvent/Developer/Reclaim/Plating /High-temp/De-wax/CDU

特点:

• 高稳定性与高可靠度
• 自有的软硬件设计及完善QC系统
• 可提供客制化与量产设计
• 可灵活实现 手动 半自动 全自动及干进干出 功能
• 多种可选择的晶圆传递方式(cassette /cassetteless /both type)
• 友好的人机操作界面
• 完整的全自动生产（包括SMIF、晶圆传递、晶圆盒的自动传递）
• 完善的客服系统
• **可提供cassetteless传输的local厂家

• 半导体/三五族/微机电：
• 4”-12” 相关清洗、显影、蚀刻等制程
• LED :
• 蓝宝石基板清洗工艺（切割、研磨、抛光段应用、PSS图形化衬底应用）前后端工序中的清洗、显影、蚀刻、去胶、高温磷酸（侧腐蚀工艺）、化镀金工艺等湿法应用