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特点：
*可调整光刻间距，**限度的避免光刻板被污染。
*操作简易，任何操作人员都能在短时间内熟练掌握。
*产能高于一般同行业竞争对手，**可达80WPH；
*可调整光刻时间，调整光强，并可根据所需累计光量值自动补偿光刻时间（无需人工调整）。
*更具客户端的光刻工艺，可预先设定光刻频道，可**限度避免人为误操作的产生。
应用：
*LED，半导体的芯片生产和研发。
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