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低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制
内槽
硅晶圆灰化状态
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能
及触摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一款
小型紧凑型的等离子处理设备。
● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应
用途
● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计
规格：
型号 | PR500 | PR510 |
等离子模式 | DP模式，桶形 | |
高频输出功率 | Max500W | |
频率 | 13.56MHz | |
同调方式 | 自动协调 | |
反应腔 | 石英Φ215×305mm | |
反应气体 | 2系统（O2／CF4） | |
控制 | 手动 | 触模屏自动控制 |
配管材质 | 不锈钢、特氟龙 | |
外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm | 参照规格书 |
重量 | 约60kg | 参照规格书 |
电源 | 单相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |
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