一、仪器描述

ATM-240L用于产生高浓度PSL小球气溶胶，依据VDI 3491（part 2）进行设计研发。

在半导体和航空航天行业中的高效过滤器的测试中，不能采用常见的油性气溶胶物质（DEHS、PAO等），即使很小的量也会存在滤材中或者排出从而导致对产品造成损伤，根据DIN EN 1822-4中滤材的测试用固体颗粒，经过对比，PSL是**的用于测试PTFE高效滤膜的**材料。

——较高的产生速率，**1.5*1011/min。

——单分散气溶胶粒径分布

——满足检漏测试（U16级，滤纸样610mm*610mm，质量流量600m3/h）

——较少的水分摄入，无需干燥

——易于操作、清洁、保养

二、仪器应用

l 产生示踪粒子

l 测试HEPA和ULPA过滤器效率

l 测试大型洁净间VDI2083、DIN EN ISO14644

l 产生PSL小球

三、仪器规格参数