LEBO 旋涂仪 EZ6

规格参数：

1、旋涂基材6英寸或更小

2、包括三个真空旋转卡盘

3、用于手套箱的占地面积小

4、易于使用的触摸屏界面

5、可编程旋涂工艺

6、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料

7、耐化学腐蚀HDPE旋转碗

8、耐用的不锈钢机身，具有耐化学腐蚀的透明旋转盖

9、4.3”触摸屏界面

10、基板尺寸：从1厘米到6英寸晶圆

11、转速范围：100-12000 RPM

12、转速分辨率：1RPM

13、加速范围：空载100-30000 RPM / s

14、程序：10个旋转程序，每个程序有10个步骤

15、安全：真空联锁和旋转盖联锁

16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)