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发射扫描电子显微镜ReguluS
发射扫描电子显微镜ReguluS

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日本

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似空科学仪器(上海)有限公司

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现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。

此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1

Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的**性能。

  • *1

  • 仅限Regulus8240/8230/8220

特色

  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的**性能

  • 与现有机型相比分辨率提高了20%左右

    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空样品仓

  • 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

样品:金颗粒

着陆电压:10 V

超高分辨观察

样品:Pt催化剂

加速电压:30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

样品:Sn球

着陆电压:1.5 kV

  • *2

  • 仅限Regulus8240/8230/8220

    规格

    项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
    二次电子分辨率0.8 nm

    (加速电压15 kV)

    1.1 nm

    (着陆电压1 kV)*3

    0.7 nm(加速电压 15 kV)

    0.9 nm(着陆电压 1 kV)*3

    着陆电压0.1~2 kV0.01~20 kV
    放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
    样品台样品台控制3轴马达台(可选5轴马达台)5轴马达驱动
    移动范围X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
    Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
    R360°
    T-5~70°
    Z1.5~30 mm1.5~40 mm
    再现性---±0.5 μm以下含±0.5 μm
    • *3

    • 减速模式下观察

    • *4

    • 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率

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售后服务

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