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透射电镜样品/ 样品杆清洗；
扫描电镜样品/ 样品台清洗/ 电镜腔体清洗；
透射电镜样品杆高真空储存：3根；
气体/ 液体原位样品杆检漏
2、高真空：
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采用小推车设计
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