超高精度真空压力PID控制装置

Ultra High Precision Vacuum Pressure PID Controller

上海依阳公司推出的超高精度真空压力PID控制装置是一种采用电气比例阀，但通过外置超高精度传感器和PID控制器，实现真空压力超高精度控制的装置，由此可实现真空、微正压、高压和超高压范围内的精密控制，可实现优于±0.1%的真空压力超高精度控制，填补了国内工业应用领域内超高精度真空压力控制的空白，并可完全替代国外相关产品。特别是超高精度真空压力PID控制装置还可与微泄漏阀搭配，可实现超高真空条件下的微流量调节和超高真空度精密控制。

一、微正压超高精度PID控制装置

Micro Positive Pressure Ultra High Precision PID Control Device

微正压控制装置主要包括微正压电气比例阀和相应量程的外接超高精度压力传感器，通过超高精度的PID控制器可实现优于±0.1%的精密控制。

二、传统电动阀门执行器的升级换代

Upgrading of Traditional Electric Valve Actuators

传统电动调节器一般是电动致动器、电动阀门定位器和阀门结构，结合传感器和PID控制器构成单回路压力或温度控制系统。存在问题是运行速度慢、对PID控制信号响应滞后，压力和温度波动大。

采用阀门定位器形式的电动减压阀蒸汽温度控制结构

传统阀门定位器形式的电动减压阀蒸汽温度控制波动

升级换代技术则采用串级控制结构，温度传感器、气动减压阀、电气比例阀和串级PID调节器组成一个双回路闭环控制系统。新型控制系统明显提高控制精度和缩短控制时间。

传感器、超高精度PID控制器、电气比例阀和气动减压阀构成的串行控制结构

串级控制系统的温度波动

三、电气比例阀超高精度压力PID控制装置

Ultra-High Precision Pressure PID Control Device of Electric Proportional Valve

电气比例阀超高精度压力控制装置主要包括电气比例阀和相应量程的外接超高精度压力传感器，通过超高精度的PID控制器可实现优于±0.1%的精密控制。

四、先导式气动减压阀（背压阀）的精密高压控制

Precision High Pressure Control of Pilot Pneumatic Pressure Reducing Valve (Back Pressure Valve)