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Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
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简介
SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统，被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。
SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩，可配备四路喷淋系统，包括显影液和去离子水等，以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括：喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制，7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用，可进行程控操作，具有优异的性价比。
规格参数
项目 | 参数 |
基板zui大直径 | 8英寸 |
转速 | 0~10000RPM可调 |
转速控制精度 | 1RPM |
加速度 | 10-50000RPM/S（空载） |
程序 | 可编程100组100步程序 |
运转zui大时长 | 3000S |
时间设置精度 | 0.1S |
显示 | 7”全彩触摸屏 |
机体材料 | HDPE内腔，SUS外壳，耐溶剂PC透明盖 |
功能图解
SC100D 外形尺寸
应用系统
PDMS芯片制作
MEMS器件加工
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